改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010114887.9

申请日：

2010-02-26

公开(公告)号：

CN101759186B

公开(公告)日：

2010-06-30

发明(设计)人：

唐前正何劲李钊郭勇赵伯君

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市高新技术开发区乐高大道6号

IPC主分类号：

C01B3303

IPC分类号：

C01B33107

代理机构：

成都虹桥专利事务所 51124

代理人：

武森涛

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101713158483 IPC(主分类):C01B 33/03 专利号:ZL2010101148879 申请日:20100226 授权公告日:20110720 终止日期:20160226
2010-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005080796 IPC(主分类):C01B 33/03 专利申请号:2010101148879 申请日:20100226
2011-07-20	授权	授权
2010-06-30	公开	公开

共 50 条

[1]

基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备 [P].

王西玉 .

中国专利 :CN104556042B ,2015-04-29

[2]

改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法 [P].

张新 ;

郭勇 ;

王璜 ;

尹志兵 .

中国专利 :CN102372271B ,2012-03-14

[3]

一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺 [P].

梁晓阳 ;

王宁 ;

赵鹏 ;

季建波 ;

赵亚军 ;

杨伟强 .

中国专利 :CN116969467B ,2025-02-25

[4]

一种改良西门子法生产多晶硅工艺中氢气提纯装置 [P].

袁川江 ;

陈建宇 ;

吴刚 ;

沈锋群 ;

杜秋实 ;

梁强 .

中国专利 :CN117531327A ,2024-02-09

[5]

改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺 [P].

唐前正 ;

张新 ;

李钊 ;

王璜 ;

卫雄 ;

山玉庸 .

中国专利 :CN101700466A ,2010-05-05

[6]

硅烷热分解法与改良西门子法耦合生产多晶硅的方法 [P].

刘春江 ;

罗勇强 ;

袁希钢 ;

赵俏 ;

项文雨 .

中国专利 :CN103523787B ,2014-01-22

[7]

改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备 [P].

宋东明 ;

宋良杰 ;

方琼 ;

蒋万顺 ;

李才勇 ;

周祖萍 ;

沈宗喜 ;

丁丙恒 ;

章华 ;

邓亮 .

中国专利 :CN102989300B ,2013-03-27

[8]

负压回收改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的方法 [P].

张新 ;

王璜 ;

卢涛 .

中国专利 :CN102390833B ,2012-03-28

[9]

一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路 [P].

谭兵 .

中国专利 :CN105281426A ,2016-01-27

[10]

西门子法多晶硅尾气处理方法 [P].

侯振海 ;

王宏达 ;

张军 .

中国专利 :CN101745300A ,2010-06-23

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