负压回收改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110221007.2

申请日：

2011-08-03

公开(公告)号：

CN102390833B

公开(公告)日：

2012-03-28

发明(设计)人：

张新王璜卢涛

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市高新技术开发区乐高大道6号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124

代理人：

武森涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-05	授权	授权
2012-03-28	公开	公开
2017-09-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101749558127 IPC(主分类):C01B 33/107 专利号:ZL2011102210072 申请日:20110803 授权公告日:20130605 终止日期:20160803
2012-05-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101242115032 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:2011102210072 申请日:20110803

共 50 条

[1]

改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法 [P].

张新 ;

郭勇 ;

王璜 ;

尹志兵 .

中国专利 :CN102372271B ,2012-03-14

[2]

基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备 [P].

王西玉 .

中国专利 :CN104556042B ,2015-04-29

[3]

改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法 [P].

唐前正 ;

何劲 ;

李钊 ;

郭勇 ;

赵伯君 .

中国专利 :CN101759186B ,2010-06-30

[4]

硅烷热分解法与改良西门子法耦合生产多晶硅的方法 [P].

刘春江 ;

罗勇强 ;

袁希钢 ;

赵俏 ;

项文雨 .

中国专利 :CN103523787B ,2014-01-22

[5]

改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺 [P].

唐前正 ;

张新 ;

李钊 ;

王璜 ;

卫雄 ;

山玉庸 .

中国专利 :CN101700466A ,2010-05-05

[6]

改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备 [P].

宋东明 ;

宋良杰 ;

方琼 ;

蒋万顺 ;

李才勇 ;

周祖萍 ;

沈宗喜 ;

丁丙恒 ;

章华 ;

邓亮 .

中国专利 :CN102989300B ,2013-03-27

[7]

一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置 [P].

潘玺 ;

燕军 ;

崔建平 .

中国专利 :CN203474472U ,2014-03-12

[8]

改良西门子法多晶硅还原炉尾气经回收循环再利用后生产制造多晶硅的方法 [P].

赵丽丽 .

中国专利 :CN106276913A ,2017-01-04

[9]

一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路 [P].

谭兵 .

中国专利 :CN105281426A ,2016-01-27

[10]

一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺 [P].

梁晓阳 ;

王宁 ;

赵鹏 ;

季建波 ;

赵亚军 ;

杨伟强 .

中国专利 :CN116969467B ,2025-02-25

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