改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910311227.7

申请日：

2009-12-11

公开(公告)号：

CN101700466A

公开(公告)日：

2010-05-05

发明(设计)人：

唐前正张新李钊王璜卫雄山玉庸

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市高新技术开发区乐高大道6号

IPC主分类号：

B01D5378

IPC分类号：

B01D5340 B01D5368 C01B33035

代理机构：

成都虹桥专利事务所 51124

代理人：

武森涛

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 53/78 申请日:20091211 授权公告日:20120502 终止日期:20161211
2010-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101003221033 IPC(主分类):B01D 53/78 专利申请号:2009103112277 申请日:20091211
2012-05-02	授权	授权
2010-05-05	公开	公开

共 50 条

[1]

改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备 [P].

宋东明 ;

宋良杰 ;

方琼 ;

蒋万顺 ;

李才勇 ;

周祖萍 ;

沈宗喜 ;

丁丙恒 ;

章华 ;

邓亮 .

中国专利 :CN102989300B ,2013-03-27

[2]

基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备 [P].

王西玉 .

中国专利 :CN104556042B ,2015-04-29

[3]

改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法 [P].

唐前正 ;

何劲 ;

李钊 ;

郭勇 ;

赵伯君 .

中国专利 :CN101759186B ,2010-06-30

[4]

多晶硅生产中尾气和/或残液处理工艺及装置 [P].

姚爱兵 ;

陈亮 .

中国专利 :CN105920986A ,2016-09-07

[5]

西门子法多晶硅尾气处理方法 [P].

侯振海 ;

王宏达 ;

张军 .

中国专利 :CN101745300A ,2010-06-23

[6]

改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法 [P].

张新 ;

郭勇 ;

王璜 ;

尹志兵 .

中国专利 :CN102372271B ,2012-03-14

[7]

一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺 [P].

梁晓阳 ;

王宁 ;

赵鹏 ;

季建波 ;

赵亚军 ;

杨伟强 .

中国专利 :CN116969467B ,2025-02-25

[8]

负压回收改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的方法 [P].

张新 ;

王璜 ;

卢涛 .

中国专利 :CN102390833B ,2012-03-28

[9]

一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路 [P].

谭兵 .

中国专利 :CN105281426A ,2016-01-27

[10]

一种改良西门子法生产多晶硅工艺中氢气提纯装置 [P].

袁川江 ;

陈建宇 ;

吴刚 ;

沈锋群 ;

杜秋实 ;

梁强 .

中国专利 :CN117531327A ,2024-02-09

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