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一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311555472.9
申请日：
2023-11-20
公开(公告)号：
CN117580445A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
陆旭兵
罗春来
郑俊锋
申请人：
华南师范大学
申请人地址：
510006 广东省广州市番禺区外环西路378号华南师范大学华南先进光电子研究院
IPC主分类号：
H10N97/00
IPC分类号：
H10B53/30
C23C16/40
代理机构：
广州骏思知识产权代理有限公司 44425
代理人：
吴静芝
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
佛山市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H10N 97/00申请日:20231120 |