一种晶圆机械臂用垫片支撑件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322171791.1

申请日：

2023-08-11

公开(公告)号：

CN220895483U

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

王亮邵淑兰章晓丹史小旖

申请人：

众芯联达半导体科技（大连）有限公司

申请人地址：

116000 辽宁省大连市保税区自贸大厦816室

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

B25J18/00 B25J19/00 F16F15/067 F16F15/023 F16F15/02

代理机构：

深圳市成为知识产权代理事务所(普通合伙) 44704

代理人：

袁梦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆传送用机械臂 [P].

雷胜 .

中国专利 :CN215881636U ,2022-02-22

[2]

一种晶圆机械臂 [P].

林清华 ;

黄金顺 .

中国专利 :CN204183569U ,2015-03-04

[3]

一种晶圆机械臂用夹持组件 [P].

王亮 ;

邵淑兰 ;

章晓丹 ;

史小旖 .

中国专利 :CN222494320U ,2025-02-18

[4]

一种基于晶圆传送用机械臂 [P].

廖海涛 .

中国专利 :CN210335945U ,2020-04-17

[5]

一种晶圆清洗用转移机械臂 [P].

范银波 .

中国专利 :CN218195209U ,2023-01-03

[6]

一种晶圆机械臂用承载机构 [P].

王亮 ;

邵淑兰 ;

章晓丹 ;

史小旖 .

中国专利 :CN220762675U ,2024-04-12

[7]

晶圆夹具以及晶圆转移机械臂 [P].

吴功 ;

倪萌 ;

国建花 .

中国专利 :CN216288367U ,2022-04-12

[8]

晶圆机械臂及晶圆处理设备 [P].

何正鸿 ;

陶毅 ;

田旭 ;

陈泽 .

中国专利 :CN223167459U ,2025-07-29

[9]

一种晶圆机械臂限位机构 [P].

王亮 ;

邵淑兰 ;

章晓丹 ;

史小旖 .

中国专利 :CN220762626U ,2024-04-12

[10]

一种晶圆清洗转移机械臂 [P].

王宜 ;

王瑜 ;

王嘉玮 .

中国专利 :CN222755468U ,2025-04-15

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