等离子体喷镀装置和喷镀控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780069695.0

申请日：

2017-10-27

公开(公告)号：

CN109937613B

公开(公告)日：

2024-02-23

发明(设计)人：

小林義之桧森慎司古谷直一

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H1/42

IPC分类号：

C23C4/134 H05H1/40

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-23	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体喷镀装置和喷镀控制方法 [P].

小林義之 ;

桧森慎司 ;

古谷直一 .

中国专利 :CN109937613A ,2019-06-25

[2]

等离子体喷镀装置和等离子体喷镀方法 [P].

大西辽 ;

西田辰夫 ;

古屋敦城 .

中国专利 :CN112410717A ,2021-02-26

[3]

等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法 [P].

小林義之 .

中国专利 :CN109023215A ,2018-12-18

[4]

喷镀喷嘴以及等离子体喷镀装置 [P].

吉田和弘 ;

深尾伸次 ;

东慧 ;

谷川秀次 ;

坊野匠 .

中国专利 :CN110997968A ,2020-04-10

[5]

等离子体喷镀装置 [P].

杦本正信 ;

山田谦一 ;

入江政信 .

中国专利 :CN102560323A ,2012-07-11

[6]

等离子体喷镀装置 [P].

杦本正信 ;

山田谦一 ;

入江政信 .

中国专利 :CN102534458B ,2012-07-04

[7]

等离子体处理装置用部件及其喷镀方法 [P].

小林义之 .

中国专利 :CN109256326A ,2019-01-22

[8]

利用等离子体连续聚合系统的喷镀装置 [P].

尹东植 .

中国专利 :CN1265021C ,2003-05-28

[9]

离子喷镀装置 [P].

酒见俊之 ;

田中胜 .

中国专利 :CN1149303C ,1999-10-20

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

高桥哲朗 ;

藤野丰 ;

户岛宏至 ;

久保敦史 ;

康松润 ;

P·芬泽克 ;

濑川澄江 .

中国专利 :CN101802986A ,2010-08-11

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