等离子体喷镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110410176.0

申请日：

2011-12-09

公开(公告)号：

CN102560323A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

杦本正信山田谦一入江政信

申请人：

申请人地址：

日本大阪

IPC主分类号：

C23C412

IPC分类号：

C23C406

代理机构：

北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280

代理人：

王勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-12	授权	授权
2021-11-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 4/12 申请日:20111209 授权公告日:20150812 终止日期:20201209
2014-01-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101559121997 IPC(主分类):C23C 4/12 专利申请号:2011104101760 申请日:20111209
2013-02-13	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101514394202 IPC(主分类):C23C 4/12 专利申请号:2011104101760 变更事项:申请人变更前权利人:株式会社富士工程变更后权利人:株式会社富士工程变更事项:地址变更前权利人:日本大阪变更后权利人:日本大阪变更事项:申请人变更前权利人:山田金属防蚀株式会社;西日本高速道路株式会社变更后权利人:株式会社富士技建;西日本高速道路株式会社登记生效日:20130110
2012-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法 [P].

小林義之 .

中国专利 :CN109023215A ,2018-12-18

[2]

等离子体喷镀装置 [P].

杦本正信 ;

山田谦一 ;

入江政信 .

中国专利 :CN102534458B ,2012-07-04

[3]

等离子体喷镀装置和等离子体喷镀方法 [P].

大西辽 ;

西田辰夫 ;

古屋敦城 .

中国专利 :CN112410717A ,2021-02-26

[4]

喷镀喷嘴以及等离子体喷镀装置 [P].

吉田和弘 ;

深尾伸次 ;

东慧 ;

谷川秀次 ;

坊野匠 .

中国专利 :CN110997968A ,2020-04-10

[5]

等离子体喷镀装置和喷镀控制方法 [P].

小林義之 ;

桧森慎司 ;

古谷直一 .

日本专利 :CN109937613B ,2024-02-23

[6]

等离子体喷镀装置和喷镀控制方法 [P].

小林義之 ;

桧森慎司 ;

古谷直一 .

中国专利 :CN109937613A ,2019-06-25

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

大见忠弘 ;

平山昌树 .

中国专利 :CN101017769A ,2007-08-15

[8]

利用等离子体连续聚合系统的喷镀装置 [P].

尹东植 .

中国专利 :CN1265021C ,2003-05-28

[9]

等离子体处理装置用部件及其喷镀方法 [P].

小林义之 .

中国专利 :CN109256326A ,2019-01-22

[10]

等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

江原宽贵 .

日本专利 :CN112652512B ,2024-11-08

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