一种用于碳化硅感应炉的镀层石英管

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311626866.9

申请日：

2023-11-30

公开(公告)号：

CN117721526A

公开(公告)日：

2024-03-19

发明(设计)人：

胡动力彭亦奇胡润光李扬

申请人：

连科半导体有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号

IPC主分类号：

C30B23/00

IPC分类号：

C30B29/36

代理机构：

无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625

代理人：

谢恺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 23/00申请日:20231130
2024-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于碳化硅感应炉的镀层石英管 [P].

胡动力 ;

彭亦奇 ;

胡润光 ;

李扬 .

中国专利 :CN221544820U ,2024-08-16

[2]

石英管碳化硅炉 [P].

陈有生 ;

贺贤汉 ;

赖章田 .

中国专利 :CN307012028S ,2021-12-17

[3]

一种碳化硅石英管的密封结构 [P].

李辉 ;

叶迎海 ;

毛瑞川 ;

潘清跃 .

中国专利 :CN211738010U ,2020-10-23

[4]

一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112871891A ,2021-06-01

[5]

一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法 [P].

胡动力 ;

许星杰 ;

赵海殿 ;

刘景和 .

中国专利 :CN115055452A ,2022-09-16

[6]

一种利用感应炉制备碳化硅粉体的方法 [P].

马北越 ;

张亚然 ;

吴桦 ;

任鑫明 ;

苏畅 ;

于敬雨 ;

高陟 ;

于景坤 .

中国专利 :CN108892513A ,2018-11-27

[7]

一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管 [P].

英浩 .

中国专利 :CN213596463U ,2021-07-02

[8]

在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法 [P].

商亚峰 ;

滕跃 ;

陶巍 ;

郭庆 ;

关凯月 .

中国专利 :CN104233472A ,2014-12-24

[9]

一种低应力碳化硅单晶生长感应炉及碳化硅单晶生长方法 [P].

李建昌 ;

丘荣生 ;

周明旭 .

中国专利 :CN119530979A ,2025-02-28

[10]

一种用于碳化硅晶体生长炉的石英腔体结构 [P].

刘英斌 ;

赵丽霞 ;

魏汝省 ;

周立平 ;

李大恭 ;

张继光 ;

李胜华 ;

徐雅坤 ;

张馨丹 .

中国专利 :CN216274469U ,2022-04-12

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