一种气体供应系统加热装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202321858374.8
申请日
2023-07-14
公开(公告)号
CN220792821U
公开(公告)日
2024-04-16
发明(设计)人
晏青松 梁诚哲 陈志佳 王凯 华海洲 张炜
申请人
中电智维(上海)科技有限公司
申请人地址
200000 上海市嘉定区叶城路1288号6幢J
IPC主分类号
F17D1/02
IPC分类号
F17D3/01 F16L53/34 H05B6/10
代理机构
无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625
代理人
谢恺
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种压缩加热的气体供应系统 [P]. 
吴璇 .
中国专利 :CN204253215U ,2015-04-08
[2]
一种气体供应系统 [P]. 
高焱 .
中国专利 :CN203549382U ,2014-04-16
[3]
一种气体供应系统 [P]. 
华权高 ;
沈鹤霄 ;
许可 ;
舒芹 .
中国专利 :CN203248996U ,2013-10-23
[4]
一种气体供应系统 [P]. 
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中国专利 :CN207814945U ,2018-09-04
[5]
管道加热装置、热式原子沉积气体供应系统及设备 [P]. 
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张华敏 ;
吴茂敏 ;
董朝乾 ;
叶文杰 ;
刘毅 ;
朱凌锋 ;
张文浩 .
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[6]
一种气体供应系统、方法以及气体供应装置 [P]. 
冯振华 ;
刘宏伟 ;
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[7]
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[9]
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