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一种气体供应系统加热装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202321858374.8
申请日
:
2023-07-14
公开(公告)号
:
CN220792821U
公开(公告)日
:
2024-04-16
发明(设计)人
:
晏青松
梁诚哲
陈志佳
王凯
华海洲
张炜
申请人
:
中电智维(上海)科技有限公司
申请人地址
:
200000 上海市嘉定区叶城路1288号6幢J
IPC主分类号
:
F17D1/02
IPC分类号
:
F17D3/01
F16L53/34
H05B6/10
代理机构
:
无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625
代理人
:
谢恺
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-04-16
授权
授权
共 50 条
[1]
一种压缩加热的气体供应系统
[P].
吴璇
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吴璇
.
中国专利
:CN204253215U
,2015-04-08
[2]
一种气体供应系统
[P].
高焱
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高焱
.
中国专利
:CN203549382U
,2014-04-16
[3]
一种气体供应系统
[P].
华权高
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华权高
;
沈鹤霄
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沈鹤霄
;
许可
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许可
;
舒芹
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舒芹
.
中国专利
:CN203248996U
,2013-10-23
[4]
一种气体供应系统
[P].
黄金海
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黄金海
.
中国专利
:CN207814945U
,2018-09-04
[5]
管道加热装置、热式原子沉积气体供应系统及设备
[P].
曹建伟
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
曹建伟
;
沈文杰
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
沈文杰
;
黄剑利
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
黄剑利
;
张华敏
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
张华敏
;
吴茂敏
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
吴茂敏
;
董朝乾
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
董朝乾
;
叶文杰
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
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叶文杰
;
刘毅
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
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刘毅
;
朱凌锋
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
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朱凌锋
;
张文浩
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浙江求是创芯半导体设备有限公司
浙江求是创芯半导体设备有限公司
张文浩
.
中国专利
:CN119332227A
,2025-01-21
[6]
一种气体供应系统、方法以及气体供应装置
[P].
冯振华
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冯振华
;
刘宏伟
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刘宏伟
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李宗峰
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李宗峰
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张聚乐
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张聚乐
;
王珂
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王珂
.
中国专利
:CN113309980B
,2021-08-27
[7]
气体供应系统
[P].
范振华
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范振华
.
中国专利
:CN201568737U
,2010-09-01
[8]
气体供应系统
[P].
O·勒韦尔
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O·勒韦尔
;
M·弗勒纳
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M·弗勒纳
;
A·伯迪克
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A·伯迪克
.
中国专利
:CN211170883U
,2020-08-04
[9]
气体供应系统的分段控制加热毯
[P].
简建至
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简建至
;
姚辉
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姚辉
;
凌晨华
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凌晨华
.
中国专利
:CN203708518U
,2014-07-09
[10]
一种等离子体处理装置气体供应系统
[P].
马冬叶
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马冬叶
;
连增迪
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连增迪
;
陈煌琳
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陈煌琳
.
中国专利
:CN213936113U
,2021-08-10
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