一种高精度穆勒矩阵椭偏仪的控制方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311578083.8

申请日：

2023-11-22

公开(公告)号：

CN117760979A

公开(公告)日：

2024-03-26

发明(设计)人：

何勇戴传奇高威陈军杨成王瑾

申请人：

武汉颐光科技有限公司

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港四路10号6号楼（自贸区武汉片区）

IPC主分类号：

G01N21/21

IPC分类号：

G01N21/01 G01B11/06

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

范三霞

法律状态：

公开

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	公开	公开
2024-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/21申请日:20231122

共 50 条

[1]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[2]

旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

陈超 ;

盛胜 ;

周军宏 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112378860B ,2021-02-19

[3]

一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法 [P].

李伟奇 ;

蒲俊鹏 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111142587B ,2020-05-12

[4]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[5]

双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置 [P].

薛小汝 ;

石雅婷 ;

李伟奇 ;

何勇 ;

郭春付 ;

张传维 .

中国专利 :CN116519605B ,2025-11-25

[6]

穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统 [P].

李伟奇 ;

张传维 ;

颜凡 ;

陈军 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112345460B ,2024-03-22

[7]

穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统 [P].

李伟奇 ;

张传维 ;

颜凡 ;

陈军 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112345460A ,2021-02-09

[8]

一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

盛胜 ;

庄锦峰 ;

刘世元 .

中国专利 :CN113281267B ,2021-08-20

[9]

一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677833A ,2015-06-03

[10]

一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103134592A ,2013-06-05

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