无掩模曝光装置和显示装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310930571.4
申请日
2023-07-27
公开(公告)号
CN117471861A
公开(公告)日
2024-01-30
发明(设计)人
尹相铉 徐甲钟
申请人
三星显示有限公司
申请人地址
韩国京畿道龙仁市
IPC主分类号
G03F7/20
IPC分类号
代理机构
北京钲霖知识产权代理有限公司 11722
代理人
李英艳;冯志云
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
无掩模曝光装置 [P]. 
千田丽誉 .
中国专利 :CN202306138U ,2012-07-04
[2]
无掩模曝光装置 [P]. 
田卷纯一 .
中国专利 :CN104246615A ,2014-12-24
[3]
无掩模曝光装置 [P]. 
押田良忠 ;
小林和夫 .
中国专利 :CN101398631B ,2009-04-01
[4]
无掩模曝光装置 [P]. 
押田良忠 ;
内藤芳达 ;
铃木光弘 .
中国专利 :CN101526743A ,2009-09-09
[5]
无掩模曝光装置和方法以及半导体设备的制造方法 [P]. 
金义锡 ;
朴相玄 ;
张宰荣 .
中国专利 :CN110780538A ,2020-02-11
[6]
无掩模曝光系统及无掩模曝光方法 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN121028467A ,2025-11-28
[7]
曝光装置和光掩模 [P]. 
畑中诚 .
中国专利 :CN102597880A ,2012-07-18
[8]
显示面板、显示装置和掩模板 [P]. 
梅菊 ;
吴建鹏 ;
曹席磊 ;
张跳梅 .
中国专利 :CN113130609A ,2021-07-16
[9]
无掩模曝光系统 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222506743U ,2025-02-18
[10]
显示面板、显示装置和掩模板 [P]. 
梅菊 ;
吴建鹏 ;
曹席磊 ;
张跳梅 .
中国专利 :CN113130609B ,2025-01-17