一种改善镀膜均匀性的进气装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322099200.4

申请日：

2023-08-07

公开(公告)号：

CN220564713U

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

陈竹铁施忠林刘闯张琳琪陈冬斌

申请人：

江苏润阳悦达光伏科技有限公司

申请人地址：

224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区湘江路58号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

H01L31/18

代理机构：

江苏圣典律师事务所 32237

代理人：

任重

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省盐城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种增加镀膜均匀性的进气装置 [P].

孙坡 ;

倪国华 ;

安振华 ;

李淩豪 .

中国专利 :CN217438291U ,2022-09-16

[2]

用于改善扩散炉内气体均匀性的进气装置 [P].

何佳龙 ;

袁正国 .

中国专利 :CN221645128U ,2024-09-03

[3]

一种溅镀设备镀膜进气均匀性提升装置 [P].

周文彬 ;

刘幼海 ;

刘吉人 .

中国专利 :CN202558927U ,2012-11-28

[4]

一种改善均匀性的扩散炉进气装置 [P].

刘丹丹 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN211256156U ,2020-08-14

[5]

用于改善沉积炉镀膜均匀性的气流装置 [P].

何佳龙 ;

袁正国 .

中国专利 :CN222106751U ,2024-12-03

[6]

一种提高进气均匀性的进气装置 [P].

荣延栋 .

中国专利 :CN1850350A ,2006-10-25

[7]

一种能够改善内壁镀膜均匀性的镀膜装置 [P].

冯斌 ;

王德苗 ;

金浩 .

中国专利 :CN212713729U ,2021-03-16

[8]

一种能够改善内壁镀膜均匀性的镀膜装置 [P].

冯斌 ;

王德苗 ;

金浩 .

中国专利 :CN111334764A ,2020-06-26

[9]

用于改善PECVD镀膜均匀性的挡气板 [P].

静福印 ;

陈文浩 ;

刘仁中 ;

张斌 .

中国专利 :CN205241785U ,2016-05-18

[10]

一种可改善磁控溅射镀膜均匀性的镀膜装置 [P].

班超 ;

程春生 ;

张钦廉 ;

曹嘉寰 ;

符东浩 ;

李传文 ;

刘毅楠 ;

赵浩 .

中国专利 :CN202193839U ,2012-04-18

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