一种提高进气均匀性的进气装置

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专利类型
发明
申请号
CN200510126356.0
申请日
2005-12-07
公开(公告)号
CN1850350A
公开(公告)日
2006-10-25
发明(设计)人
荣延栋
申请人
申请人地址
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
IPC主分类号
B05B114
IPC分类号
C23C1644 C23C16513 C23F300 H01L2102
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人
王常风
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种均匀进气装置 [P]. 
谢君辉 ;
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[2]
一种增加镀膜均匀性的进气装置 [P]. 
孙坡 ;
倪国华 ;
安振华 ;
李淩豪 .
中国专利 :CN217438291U ,2022-09-16
[3]
一种改善镀膜均匀性的进气装置 [P]. 
陈竹铁 ;
施忠林 ;
刘闯 ;
张琳琪 ;
陈冬斌 .
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[4]
一种混气进气装置 [P]. 
黄巍 ;
谢欢 ;
凃振宇 ;
童维军 ;
邓泉荣 ;
姚帅 ;
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
一种进气装置 [P]. 
屈芙蓉 ;
胡冬冬 ;
刘训春 ;
刘杰 ;
李超波 ;
夏洋 .
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[9]
进气装置及进气方法 [P]. 
沈康 ;
王兆祥 ;
涂乐义 ;
梁洁 ;
吴磊 .
中国专利 :CN117612978A ,2024-02-27
[10]
进气装置及进气方法 [P]. 
沈康 ;
王兆祥 ;
涂乐义 ;
梁洁 ;
吴磊 .
中国专利 :CN117612977A ,2024-02-27