纳米压印用复制模制作装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110694148.X

申请日：

2021-06-22

公开(公告)号：

CN113885295B

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

金泰完郑明教金准基朴惠贞郑熙锡

申请人：

吉佳蓝科技股份有限公司

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

金鲜英;张敬强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

纳米压印用复制模制作装置 [P].

金泰完 ;

郑明教 ;

金准基 ;

朴惠贞 ;

郑熙锡 .

韩国专利 :CN117761966A ,2024-03-26

[2]

纳米压印用复制模制作装置 [P].

金泰完 ;

郑明教 ;

金准基 ;

朴惠贞 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN113885295A ,2022-01-04

[3]

纳米压印用复制模、其制造方法及纳米压印用复制模制造装置 [P].

权相民 ;

具滋鹏 ;

丘璜燮 ;

金铉济 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN109073979A ,2018-12-21

[4]

压印光刻用复制模制作装置及其制作方法 [P].

具滋鹏 ;

金泰完 ;

权相民 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111208708B ,2020-05-29

[5]

用于纳米压印复合模板的复制装置 [P].

史晓华 .

中国专利 :CN105511224A ,2016-04-20

[6]

用于纳米压印复合模板的复制装置 [P].

史晓华 .

中国专利 :CN204129433U ,2015-01-28

[7]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[8]

纳米压印装置 [P].

史晓华 ;

冀然 ;

薛愉峰 .

中国专利 :CN202916585U ,2013-05-01

[9]

纳米压印装置 [P].

刘泽 ;

刘超 ;

李大元 .

中国专利 :CN223552005U ,2025-11-14

[10]

纳米压印装置 [P].

李以贵 ;

陈少军 ;

张冠 ;

孙健 .

中国专利 :CN101393391B ,2009-03-25

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