液体供应装置及包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311122117.2

申请日：

2023-09-01

公开(公告)号：

CN118073227A

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

金康卨金兑根李炅珉

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B13/00 B08B3/02 B08B3/04 B08B3/08 G03F7/30

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

王艳春;刘旭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230901
2024-05-24	公开	公开

共 50 条

[1]

药液供应装置及包括药液供应装置的基板处理装置 [P].

河道炅 ;

刘在赫 ;

李建旼 ;

崔文淳 ;

林采永 .

中国专利 :CN114695174A ,2022-07-01

[2]

收容端口及包括其的基板处理装置 [P].

洪南基 ;

金益均 ;

李在旭 ;

朴承奎 ;

尹太源 ;

梁时焕 .

韩国专利 :CN118023035A ,2024-05-14

[3]

液体供应单元、基板处理装置以及基板处理设备 [P].

方成镇 ;

吴昌石 .

韩国专利 :CN118033981A ,2024-05-14

[4]

液体供应单元、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

李承汉 .

中国专利 :CN108803257B ,2018-11-13

[5]

开闭装置及包括其的基板处理装置 [P].

韩容基 .

中国专利 :CN211654790U ,2020-10-09

[6]

防止基板下垂装置及包括其的基板处理装置 [P].

李俊弧 ;

李在元 ;

郑基正 ;

李载鸿 ;

金炯剟 .

中国专利 :CN208422891U ,2019-01-22

[7]

基板搬送装置及包括其的基板处理装置 [P].

篠原敬 .

日本专利 :CN121107067A ,2025-12-12

[8]

喷墨头单元及包括其的基板处理装置 [P].

于蔷薇 ;

梁真赫 ;

赵庸揆 ;

赵天洙 ;

崔基训 .

韩国专利 :CN117656675A ,2024-03-08

[9]

控制单元及包括其的基板处理装置 [P].

宋延徹 ;

林名俊 ;

金光燮 ;

李锺民 ;

吴埈昊 ;

柳志勳 ;

朴永镐 .

韩国专利 :CN115891432B ,2025-11-11

[10]

基板移送装置以及包括其的液处理装置、基板处理设备 [P].

崔璱基 ;

林俊铉 ;

张瑛珍 ;

李恩姃 ;

尹喜俊 ;

朴贵秀 .

韩国专利 :CN118280895A ,2024-07-02

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