收容端口及包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310410269.6

申请日：

2023-04-18

公开(公告)号：

CN118023035A

公开(公告)日：

2024-05-14

发明(设计)人：

洪南基金益均李在旭朴承奎尹太源梁时焕

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

B05B15/555

IPC分类号：

H01L21/67 B08B3/02 B08B13/00 B05B1/00

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

王达佐;王艳春

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	公开	公开
2025-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B05B 15/555申请日:20230418

共 50 条

[1]

液体供应装置及包括其的基板处理装置 [P].

金康卨 ;

金兑根 ;

李炅珉 .

韩国专利 :CN118073227A ,2024-05-24

[2]

喷墨头单元及包括其的基板处理装置 [P].

于蔷薇 ;

梁真赫 ;

赵庸揆 ;

赵天洙 ;

崔基训 .

韩国专利 :CN117656675A ,2024-03-08

[3]

控制单元及包括其的基板处理装置 [P].

宋延徹 ;

林名俊 ;

金光燮 ;

李锺民 ;

吴埈昊 ;

柳志勳 ;

朴永镐 .

韩国专利 :CN115891432B ,2025-11-11

[4]

基板支撑模块及包括其的基板处理装置 [P].

梁承悦 ;

朴暻完 .

韩国专利 :CN117936451A ,2024-04-26

[5]

基板支撑组件及包括其的基板处理装置 [P].

卢载旻 ;

李主日 ;

朴健溶 .

中国专利 :CN112216646A ,2021-01-12

[6]

开闭装置及包括其的基板处理装置 [P].

韩容基 .

中国专利 :CN211654790U ,2020-10-09

[7]

包括多个排气端口的基板处理装置及方法 [P].

梁日光 ;

诸成泰 ;

宋炳奎 ;

金龙基 ;

金劲勋 ;

申良湜 .

中国专利 :CN103946955A ,2014-07-23

[8]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[9]

防止基板下垂装置及包括其的基板处理装置 [P].

李俊弧 ;

李在元 ;

郑基正 ;

李载鸿 ;

金炯剟 .

中国专利 :CN208422891U ,2019-01-22

[10]

基板搬送装置及包括其的基板处理装置 [P].

篠原敬 .

日本专利 :CN121107067A ,2025-12-12

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