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MEMS芯片结构及MEMS声学传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311604697.9
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN117812511A
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
袁兆斌
申请人：
歌尔微电子股份有限公司
申请人地址：
266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
IPC主分类号：
H04R19/04
IPC分类号：
代理机构：
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人：
张鹏
法律状态：
公开
国省代码：
山东省
青岛市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H04R 19/04申请日:20231128 |