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一种晶圆检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211182220.1
申请日：
2022-09-27
公开(公告)号：
CN115655163B
公开(公告)日：
2024-01-26
发明(设计)人：
周益初
周亭成
卢利军
陈奇
申请人：
盖泽智控传感技术（上海）有限公司
申请人地址：
201411 上海市奉贤区奉城镇南奉公路686号4幢
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/66
H01L21/673
G01B21/00
代理机构：
上海德昭知识产权代理有限公司 31204
代理人：
卢泓宇
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/67登记生效日:20240104变更事项:申请人变更前权利人:光旸科技（上海）有限公司变更后权利人:盖泽智控传感技术（上海）有限公司变更事项:地址变更前权利人:200438 上海市杨浦区国权北路1688弄68号1303室变更后权利人:201411 上海市奉贤区奉城镇南奉公路686号4幢 |
| 2024-01-26 | 授权 | 授权 |