一种晶圆检测机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322714756.X

申请日：

2023-10-10

公开(公告)号：

CN220893270U

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

哈捷吴志锋

申请人：

阿博索伯（苏州）自动化设备科技有限公司

申请人地址：

215105 江苏省苏州市吴中区浦庄大道3999号6幢一楼东侧

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01N21/01 G01N21/95 G01N21/84

代理机构：

江苏予捷专利代理有限公司 32781

代理人：

许伟鸿

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆检测系统 [P].

吴志锋 ;

哈捷 .

中国专利 :CN221201121U ,2024-06-21

[2]

一种PECVD机台晶圆检测设备 [P].

杨文俊 ;

谢传民 ;

黄施伟 .

中国专利 :CN221465768U ,2024-08-02

[3]

一种晶圆缺陷检测机台 [P].

李云华 ;

黄雷 .

中国专利 :CN214313173U ,2021-09-28

[4]

一种晶圆盒装置、机台和晶圆检测方法 [P].

赵军 ;

苏兴才 ;

王晓雯 ;

王乔慈 .

中国专利 :CN114121737A ,2022-03-01

[5]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[6]

一种晶圆检测上料装置 [P].

彭义青 ;

冼平东 ;

黄明春 ;

容金波 ;

吴述林 ;

黄为民 ;

周厚利 .

中国专利 :CN222146163U ,2024-12-10

[7]

一种晶圆红外检测测试设备 [P].

淦克金 ;

杨铮 ;

吴志锋 .

中国专利 :CN211401091U ,2020-09-01

[8]

一种晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

王志铭 .

中国专利 :CN221078431U ,2024-06-04

[9]

一种晶圆检测装置 [P].

周益初 ;

周亭成 ;

胡丁鹏 ;

成琦 .

中国专利 :CN218350142U ,2023-01-20

[10]

一种晶圆检测装置 [P].

周益初 ;

周亭成 ;

卢利军 ;

陈奇 .

中国专利 :CN115655163B ,2024-01-26

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