一种晶圆检测装置

被引：0

申请号：

CN202222008507.4

申请日：

2022-08-01

公开(公告)号：

CN218350142U

公开(公告)日：

2023-01-20

发明(设计)人：

周益初周亭成胡丁鹏成琦

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼20层2002室

IPC主分类号：

G01N21892

IPC分类号：

G01N2101 H01L2166

代理机构：

苏州久元知识产权代理事务所(普通合伙) 32446

代理人：

潘宏伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[2]

一种晶圆检测装置 [P].

吴昊 ;

陆亚斌 ;

王成 .

中国专利 :CN223742344U ,2025-12-30

[3]

一种晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

王志铭 .

中国专利 :CN221078431U ,2024-06-04

[4]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[5]

晶圆检测装置 [P].

张记晨 ;

杨金国 ;

周许超 ;

邹秀阳 ;

孙书诚 .

中国专利 :CN217954288U ,2022-12-02

[6]

晶圆检测装置 [P].

戴焕超 ;

赖玉强 ;

陆曙明 ;

黄盛庆 ;

冼家铖 .

中国专利 :CN220438196U ,2024-02-02

[7]

一种晶圆清洗检测装置 [P].

雷超 .

中国专利 :CN212625496U ,2021-02-26

[8]

一种晶圆检测平台及其晶圆检测装置 [P].

徐开涛 ;

陈夏薇 ;

姚建强 ;

郭剑飞 ;

吴文龙 .

中国专利 :CN216979228U ,2022-07-15

[9]

一种晶圆检测机台 [P].

哈捷 ;

吴志锋 .

中国专利 :CN220893270U ,2024-05-03

[10]

一种晶圆检测系统 [P].

吴志锋 ;

哈捷 .

中国专利 :CN221201121U ,2024-06-21

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