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一种晶圆表面划痕缺陷的检测方法、装置、介质及系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311414600.8
申请日：
2023-10-27
公开(公告)号：
CN117350988A
公开(公告)日：
2024-01-05
发明(设计)人：
张富涛
申请人：
西安芯晖检测技术有限公司
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区翠北路219号奕斯伟集成电路产业基地E6座
IPC主分类号：
G06T7/00
IPC分类号：
G06T7/13
G06T7/187
G06T7/11
代理机构：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253
代理人：
李宁;沈寒酉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-05 | 公开 | 公开 |
| 2024-01-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20231027 |