一种碳化硅晶体生长用籽晶杆对中固定装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321193138.9

申请日：

2023-05-17

公开(公告)号：

CN220685320U

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

林洪峰李书森汪愈丰

申请人：

成都天一晶能半导体有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区(西区)新航路18号105栋

IPC主分类号：

C30B35/00

IPC分类号：

C30B29/36

代理机构：

成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228

代理人：

尹玉

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶体生长用的碳化硅籽晶 [P].

陶莹 ;

邓树军 ;

高宇 ;

段聪 ;

赵梅玉 .

中国专利 :CN203065637U ,2013-07-17

[2]

碳化硅晶体生长用石墨组件及碳化硅晶体生长装置 [P].

钱昊 ;

梁刚强 ;

苏奕霖 ;

李强 ;

杨倩倩 .

中国专利 :CN220433065U ,2024-02-02

[3]

碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

朱卫祥 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10

[4]

碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

李京波 ;

夏建白 ;

陈素春 .

中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04

[5]

籽晶托和碳化硅晶体生长装置 [P].

翟虎 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN221398164U ,2024-07-23

[6]

晶体生长籽晶固定装置 [P].

张晓阳 ;

秦晓燕 ;

黄柏标 ;

段爱东 .

中国专利 :CN201136910Y ,2008-10-22

[7]

碳化硅晶体生长用籽晶黏合治具 [P].

郭正富 ;

蔡国基 ;

许仙薇 .

中国专利 :CN217869185U ,2022-11-22

[8]

碳化硅晶体生长装置 [P].

薛卫明 ;

马远 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN217757758U ,2022-11-08

[9]

碳化硅晶体生长装置 [P].

洪棋典 ;

张洁 ;

廖弘基 ;

杨树 .

中国专利 :CN215593238U ,2022-01-21

[10]

碳化硅晶体生长装置 [P].

杨树 ;

张洁 .

中国专利 :CN221071723U ,2024-06-04

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