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用于边缘抛光的化学机械抛光组合物

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211734086.1
申请日：
2022-12-30
公开(公告)号：
CN116254059B
公开(公告)日：
2024-01-23
发明(设计)人：
洪丹燕 田露 NP·叶日博纳 贾仁合
申请人：
昂士特科技（深圳）有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201
IPC主分类号：
C09G1/02
IPC分类号：
B24B9/06 B24B1/00
代理机构：
广东普润知识产权代理有限公司 44804
代理人：
寇闯
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-01-23 授权 授权
共 50 条
[1]
化学机械抛光组合物以及方法 [P]. 
N·K·彭塔 ;
K·E·特泰 ;
M·范汉尼赫姆 .
中国专利 :CN111944429B ,2020-11-17
[2]
用于化学机械抛光后清洁的组合物 [P]. 
C·达施莱茵 ;
M·西伯特 ;
M·劳特尔 ;
P·普日贝尔斯基 ;
J·普罗尔斯 ;
A·克里普 ;
H·O·格文茨 ;
L·勒尼森 ;
R-P·鲍曼 ;
魏得育 .
中国专利 :CN108473918B ,2018-08-31
[3]
用于钨化学机械抛光的组合物 [P]. 
S.格伦宾 ;
J.戴萨德 ;
富琳 ;
W.沃德 ;
G.怀特纳 .
中国专利 :CN106103638B ,2016-11-09
[4]
用于钨化学机械抛光的组合物 [P]. 
S.格伦宾 ;
J.戴萨德 ;
富琳 ;
W.沃德 ;
G.怀特纳 .
中国专利 :CN106104763A ,2016-11-09
[5]
化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P]. 
彭路希 ;
田露 ;
贾仁合 .
中国专利 :CN117511415A ,2024-02-06
[6]
用于钨化学机械抛光的组合物 [P]. 
S.格伦宾 ;
J.戴萨德 ;
富琳 ;
W.沃德 ;
G.怀特纳 .
中国专利 :CN106103639A ,2016-11-09
[7]
化学机械抛光组合物、清洗组合物、化学机械抛光方法和清洗方法 [P]. 
北村启 ;
增田刚 ;
松村义之 ;
并木明久 ;
齐藤健 .
中国专利 :CN114258421A ,2022-03-29
[8]
用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P]. 
彭路希 ;
田露 ;
贾仁合 .
中国专利 :CN117511414A ,2024-02-06
[9]
用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P]. 
彭路希 ;
田露 ;
贾仁合 .
中国专利 :CN119816571A ,2025-04-11
[10]
用于化学机械抛光的浆料组合物及抛光方法 [P]. 
李泰永 ;
李仁庆 ;
崔炳镐 ;
朴容淳 .
中国专利 :CN101333420A ,2008-12-31
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