一种屏蔽栅功率半导体器件及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311392824.3
申请日
2023-10-25
公开(公告)号
CN117334579A
公开(公告)日
2024-01-02
发明(设计)人
刘科科 钟义栋 董云
申请人
中晶新源(上海)半导体有限公司
申请人地址
201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
IPC主分类号
H01L21/336
IPC分类号
H01L29/78 H01L29/423
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种屏蔽栅功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
刘科科 ;
钟义栋 ;
董云 .
中国专利 :CN117334579B ,2024-11-01
[2]
一种功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
刘国友 ;
覃荣震 ;
黄建伟 ;
张泉 ;
朱利恒 ;
戴小平 .
中国专利 :CN106684134A ,2017-05-17
[3]
一种功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
李伟 ;
高苗苗 .
中国专利 :CN115579337A ,2023-01-06
[4]
一种功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
李振道 ;
孙明光 ;
朱伟东 .
中国专利 :CN112018189A ,2020-12-01
[5]
沟槽栅功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
罗海辉 ;
姚尧 ;
肖强 ;
肖海波 ;
覃荣震 ;
谭灿健 .
中国专利 :CN113066861A ,2021-07-02
[6]
一种改善屏蔽栅功率半导体器件HDP填充的工艺方法 [P]. 
刘科科 ;
钟义栋 ;
董云 .
中国专利 :CN117457499A ,2024-01-26
[7]
屏蔽栅功率半导体器件 [P]. 
朱袁正 ;
周锦程 ;
杨卓 ;
刘晶晶 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN111584622A ,2020-08-25
[8]
屏蔽栅功率半导体器件 [P]. 
朱袁正 ;
周锦程 ;
杨卓 ;
刘晶晶 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN111584622B ,2024-09-06
[9]
屏蔽栅功率半导体器件 [P]. 
朱袁正 ;
周锦程 ;
杨卓 ;
刘晶晶 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN212033029U ,2020-11-27
[10]
一种功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
张景超 ;
戚丽娜 ;
林茂 ;
井亚会 ;
赵善麒 .
中国专利 :CN112652666A ,2021-04-13