晶圆校准装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322397840.3

申请日：

2023-09-05

公开(公告)号：

CN220774324U

公开(公告)日：

2024-04-12

发明(设计)人：

孔彬相宇阳戴金方耿晓杨

申请人：

无锡卓海科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区珠江路97号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

许利波

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆校准工装及晶圆校准装置 [P].

陈鲁 ;

张朝前 ;

卿亮 ;

李少雷 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN214898382U ,2021-11-26

[2]

晶圆校准装置 [P].

朱新亮 ;

胡文强 ;

吴冬冬 .

中国专利 :CN221508137U ,2024-08-09

[3]

夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置 [P].

张邵杭 ;

沈雪松 ;

屈文晶 .

中国专利 :CN221977868U ,2024-11-08

[4]

晶圆处理装置 [P].

董佳仁 .

中国专利 :CN210607197U ,2020-05-22

[5]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[6]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[7]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

陈章晏 ;

云巴图 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981177U ,2020-01-21

[8]

晶圆清洗装置 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN210837677U ,2020-06-23

[9]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[10]

晶圆传输校准装置 [P].

许鹖 .

中国专利 :CN203055882U ,2013-07-10

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