晶圆传输校准装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220748817.3

申请日：

2012-12-31

公开(公告)号：

CN203055882U

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

许鹖

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20121231 授权公告日:20130710 终止日期:20181231
2013-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆校准工装及晶圆校准装置 [P].

陈鲁 ;

张朝前 ;

卿亮 ;

李少雷 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN214898382U ,2021-11-26

[2]

晶圆校准装置 [P].

朱新亮 ;

胡文强 ;

吴冬冬 .

中国专利 :CN221508137U ,2024-08-09

[3]

晶圆校准装置 [P].

孔彬 ;

相宇阳 ;

戴金方 ;

耿晓杨 .

中国专利 :CN220774324U ,2024-04-12

[4]

晶圆转运校准装置 [P].

廉哲 ;

王勇 ;

谢智寅 ;

唐仁伟 .

中国专利 :CN221651467U ,2024-09-03

[5]

晶圆定位校准装置及晶圆定位校准方法 [P].

毕迪 .

中国专利 :CN111430289A ,2020-07-17

[6]

晶圆传输装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222980479U ,2025-06-13

[7]

晶圆传输装置 [P].

王大为 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208954942U ,2019-06-07

[8]

晶圆传输装置 [P].

许亮 ;

于祯鑫 ;

吴新江 .

中国专利 :CN202003971U ,2011-10-05

[9]

晶圆传输装置 [P].

关聪 .

中国专利 :CN223155985U ,2025-07-25

[10]

晶圆传输装置 [P].

史小宝 .

中国专利 :CN201466013U ,2010-05-12

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