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晶圆传输校准装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220748817.3
申请日：
2012-12-31
公开(公告)号：
CN203055882U
公开(公告)日：
2013-07-10
发明(设计)人：
许鹖
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20121231 授权公告日:20130710 终止日期:20181231 |
| 2013-07-10 | 授权 | 授权 |