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晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010102259.2
申请日：
2020-02-19
公开(公告)号：
CN113276104A
公开(公告)日：
2021-08-20
发明(设计)人：
宋茂炎
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹县竹北市泰和里新泰路35号8楼
IPC主分类号：
B25J916
IPC分类号：
B25J1900
G01B1100
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
顾浩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 9/16 申请日:20200219 |
| 2021-08-20 | 公开 | 公开 |