一种晶圆自动搬运校准装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323022092.7

申请日：

2023-11-09

公开(公告)号：

CN221459155U

公开(公告)日：

2024-08-02

发明(设计)人：

刘伟张海洋吕文波徐欣琦

申请人：

苏州伊欧陆系统集成有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9幢202室

IPC主分类号：

B65G47/91

IPC分类号：

B65G49/07 B65G43/08

代理机构：

苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516

代理人：

魏孝廉

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆自动搬运装置 [P].

张海洋 ;

刘伟 ;

吕文波 ;

徐欣琦 .

中国专利 :CN221304625U ,2024-07-09

[2]

晶圆转运校准装置 [P].

廉哲 ;

王勇 ;

谢智寅 ;

唐仁伟 .

中国专利 :CN221651467U ,2024-09-03

[3]

一种晶圆校准搬运机械手 [P].

林凯凯 ;

李梓渊 .

中国专利 :CN218274546U ,2023-01-10

[4]

晶圆校准工装及晶圆校准装置 [P].

陈鲁 ;

张朝前 ;

卿亮 ;

李少雷 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN214898382U ,2021-11-26

[5]

晶圆自动搬运装置 [P].

王琪 ;

赵洪建 ;

郑旭海 .

中国专利 :CN216648252U ,2022-05-31

[6]

一种晶圆校准装置 [P].

陶为银 ;

蔡正道 ;

闫兴 ;

乔赛赛 .

中国专利 :CN220543058U ,2024-02-27

[7]

一种晶圆校准装置 [P].

李海新 ;

薄原厂 ;

刘超 .

中国专利 :CN223624959U ,2025-12-02

[8]

一种晶圆搬运装置 [P].

苗涛 ;

吴天尧 ;

师海月 ;

高嘉伟 ;

陈志 .

中国专利 :CN222380563U ,2025-01-21

[9]

晶圆校准装置 [P].

朱新亮 ;

胡文强 ;

吴冬冬 .

中国专利 :CN221508137U ,2024-08-09

[10]

晶圆校准装置 [P].

孔彬 ;

相宇阳 ;

戴金方 ;

耿晓杨 .

中国专利 :CN220774324U ,2024-04-12

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