晶圆加工工艺中的传输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920052665.5

申请日：

2019-01-14

公开(公告)号：

CN209487484U

公开(公告)日：

2019-10-11

发明(设计)人：

侯晓弈陈静孙金召陈威李红李震张程鹏蒋一鸣

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学学研综合楼B1009室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京头头知识产权代理有限公司 11729

代理人：

白芳仿;王方明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

[2]

晶圆传输装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222980479U ,2025-06-13

[3]

晶圆传输装置 [P].

王大为 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208954942U ,2019-06-07

[4]

晶圆传输装置 [P].

许亮 ;

于祯鑫 ;

吴新江 .

中国专利 :CN202003971U ,2011-10-05

[5]

晶圆传输装置 [P].

关聪 .

中国专利 :CN223155985U ,2025-07-25

[6]

晶圆传输装置 [P].

史小宝 .

中国专利 :CN201466013U ,2010-05-12

[7]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[8]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

[9]

晶圆装载结构及晶圆传输装置 [P].

吴庆东 ;

汪金梅 ;

李炜 ;

李晓标 ;

黄俊 .

中国专利 :CN223167466U ,2025-07-29

[10]

晶圆传输校准装置 [P].

许鹖 .

中国专利 :CN203055882U ,2013-07-10

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