MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010721799.9

申请日：

2020-07-24

公开(公告)号：

CN112291694B

公开(公告)日：

2024-05-31

发明(设计)人：

A·韦斯鲍尔 P·A·布雷格·劳滨·托雷斯·亚马拉尔 A·卡斯帕尼 N·德米勒里 M·菲尔德纳

申请人：

英飞凌科技股份有限公司

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

H04R23/00

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

黄倩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法 [P].

A·韦斯鲍尔 ;

P·A·布雷格·劳滨·托雷斯·亚马拉尔 ;

A·卡斯帕尼 ;

N·德米勒里 ;

M·菲尔德纳 .

中国专利 :CN112291694A ,2021-01-29

[2]

MEMS换能器和用于制造MEMS换能器的方法 [P].

W·克莱因 ;

K·吉尔 ;

M·迈耶 .

中国专利 :CN110881163A ,2020-03-13

[3]

MEMS换能器、MEMS麦克风以及制造MEMS换能器的方法 [P].

熊伟 ;

何飞 ;

饭岛淳 .

中国专利 :CN112423210A ,2021-02-26

[4]

MEMS设备、声换能器、形成MEMS设备的方法以及操作MEMS设备的方法 [P].

A·德厄 .

中国专利 :CN108540911B ,2018-09-14

[5]

MEMS换能器 [P].

W-T·苏 ;

M·纳沃茨 ;

M·达埃切恩 ;

S·利希 ;

C·斯塔德尔 ;

S·古普塔 .

加拿大专利 :CN117769843A ,2024-03-26

[6]

MEMS换能器 [P].

S·L·卡吉尔 ;

C·R·詹金斯 ;

E·J·博伊德 ;

R·I·拉明 .

中国专利 :CN107211223B ,2017-09-26

[7]

MEMS换能器 [P].

P·V·洛佩特 .

中国专利 :CN212544054U ,2021-02-12

[8]

MEMS换能器结构 [P].

C·谢林 .

德国专利 :CN120897154A ,2025-11-04

[9]

MEMS声换能器和提供MEMS声换能器的方法 [P].

S·巴曾 .

中国专利 :CN108569673B ,2018-09-25

[10]

换能器、包括换能器的MEMS设备及用于制造换能器的方法 [P].

L·塞吉齐 ;

F·韦尔切西 ;

C·佩德里尼 .

中国专利 :CN112672260A ,2021-04-16

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