重叠测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311280807.0

申请日：

2023-09-28

公开(公告)号：

CN117855075A

公开(公告)日：

2024-04-09

发明(设计)人：

郭仁浩金真善李茂松李承润李汀镇黄灿朴道炫韩睿恩

申请人：

三星电子株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

弋桂芬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	公开	公开
2025-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20230928

共 50 条

[1]

重叠量测量装置和重叠量测量方法 [P].

塚本高弘 .

中国专利 :CN106662429A ,2017-05-10

[2]

优化重叠测量条件的方法及使用重叠测量条件的重叠测量方法 [P].

金岛辉 ;

郭旻哲 ;

尹俊盛 ;

李汀镇 ;

李承润 ;

黄灿 .

韩国专利 :CN119247699A ,2025-01-03

[3]

重叠测量方法和使用其的重叠测量设备 [P].

崔交亨 ;

朴珍俊 .

中国专利 :CN101063829A ,2007-10-31

[4]

一种钢板重叠的测量方法 [P].

许艳辉 ;

程虎 ;

王德银 ;

陈正楠 ;

刘自扬 ;

李睿鑫 ;

孔进丽 ;

邱文强 .

中国专利 :CN114990324A ,2022-09-02

[5]

重叠测量方法、装置、以及显示装置 [P].

高木裕治 ;

福永文彦 ;

后藤泰范 .

中国专利 :CN106574832A ,2017-04-19

[6]

用于测量多层重叠对准精确度的重叠游标图案及测量方法 [P].

陈子清 .

中国专利 :CN1202559C ,2003-10-01

[7]

形成莫尔图案的重叠标记、利用其的重叠测量方法、重叠测量装置及半导体器件的制造方法 [P].

李铉哲 ;

张贤镇 .

韩国专利 :CN117913074A ,2024-04-19

[8]

重叠测量法 [P].

梁原浚 ;

尹详皓 ;

郑宇陈 ;

姜旼秀 .

韩国专利 :CN117590699A ,2024-02-23

[9]

测量方法及测量装置 [P].

富田晓 ;

平田教行 .

日本专利 :CN118335721A ,2024-07-12

[10]

图案测量装置以及测量方法 [P].

孙伟 ;

早田康成 ;

二宫拓 ;

后藤泰范 .

中国专利 :CN109765254B ,2019-05-17

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