一种掺铌钛酸锶靶材的制备方法、靶材及磁控溅射薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311307837.6

申请日：

2023-10-11

公开(公告)号：

CN117051369B

公开(公告)日：

2024-01-05

发明(设计)人：

徐惠彬张虎高明王方方祝钦清

申请人：

北京航空航天大学宁波创新研究院

申请人地址：

315800 浙江省宁波市北仑区梅山街道康达路399号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/08

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掺铌钛酸锶薄膜的制备方法及掺铌钛酸锶薄膜 [P].

徐惠彬 ;

张虎 ;

高明 ;

王方方 ;

祝钦清 .

中国专利 :CN117051368B ,2024-01-09

[2]

锶钛合金制备方法、基于合金的靶材及磁控溅射薄膜 [P].

徐惠彬 ;

张虎 ;

高明 ;

王方方 ;

祝钦清 .

中国专利 :CN117102490B ,2024-02-27

[3]

一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法 [P].

芮天安 ;

赵永武 ;

丁春聪 ;

周雄杰 ;

赵瑞晋 ;

马俊 .

中国专利 :CN112676374A ,2021-04-20

[4]

钛酸锶钡陶瓷靶的制备方法 [P].

张汝冰 ;

杨春生 ;

冯洁 .

中国专利 :CN1250482C ,2003-10-15

[5]

一种导电铌酸锂靶材的制备方法 [P].

朱伟 .

中国专利 :CN116396076B ,2024-04-26

[6]

合金靶材磁控溅射法制备CoSi2薄膜的方法 [P].

程凡雄 ;

姜传海 ;

吴建生 ;

董显平 ;

单爱党 .

中国专利 :CN1304630C ,2005-05-11

[7]

一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法 [P].

赵立峰 ;

黄正银 ;

赵勇 .

中国专利 :CN101333107B ,2008-12-31

[8]

一种磁控溅射用BZT靶材的制备方法 [P].

李玲霞 ;

孙正 ;

郑浩然 ;

罗伟嘉 .

中国专利 :CN105036740B ,2015-11-11

[9]

一种溅射用铌管状靶材的制备方法 [P].

王国栋 ;

林小辉 ;

梁静 ;

李来平 .

中国专利 :CN102489951A ,2012-06-13

[10]

溅射用铌酸钾钠陶瓷靶材及其制备方法 [P].

董显林 ;

李涛 ;

王根水 ;

陈莹 .

中国专利 :CN104557035A ,2015-04-29

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