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高深宽比间隙填充内的缝隙移除
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280062413.5
申请日：
2022-08-05
公开(公告)号：
CN117999640A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
赵庆华
程睿
黄锐赟
李铜衡
A·爱丁
K·嘉纳基拉曼
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21/321
IPC分类号：
H01L21/3205
H01L21/3105
H01L21/02
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
侯颖媖;张鑫
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/321申请日:20220805 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |