基板处理装置及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110153214.2

申请日：

2021-02-04

公开(公告)号：

CN113211299B

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

高田畅行安田穗积

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37/07

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/20 B24B37/34

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

高田畅行 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN113211299A ,2021-08-06

[2]

基板处理装置、基板处理方法及基板研磨方法 [P].

高田畅行 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN113001394A ,2021-06-22

[3]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

大田浩平 ;

高田畅行 .

日本专利 :CN116745068B ,2025-07-22

[4]

基板处理装置 [P].

高田畅行 ;

安田穗积 .

日本专利 :CN113001394B ,2024-07-12

[5]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

高田畅行 ;

安田穗积 .

日本专利 :CN115087517B ,2024-04-05

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

安陪裕滋 .

中国专利 :CN111715473B ,2020-09-29

[7]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

根本悠平 ;

林航之介 ;

长岛裕次 ;

秋本纱希 ;

松下淳 .

中国专利 :CN111710625A ,2020-09-25

[8]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

土持鹰彬 ;

秋本纱希 ;

林航之介 .

中国专利 :CN111710624A ,2020-09-25

[9]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

高田畅行 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN115087517A ,2022-09-20

[10]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

秋本纱希 .

中国专利 :CN111710626A ,2020-09-25

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