清洗装置及清洗控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211240035.3

申请日：

2022-10-11

公开(公告)号：

CN117900204A

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

李栋

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/02 B08B7/04 B08B5/02 B08B9/00 B08B13/00

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	公开	公开
2024-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 7/00申请日:20221011

共 50 条

[1]

清洗装置控制方法及清洗装置 [P].

单世强 ;

刘振华 ;

张江涛 .

中国专利 :CN114622374B ,2024-07-26

[2]

清洗装置及清洗方法 [P].

宋斌 ;

陈锐源 ;

张剑桥 ;

吴先燕 .

中国专利 :CN120709201A ,2025-09-26

[3]

清洗装置及清洗方法 [P].

上川裕二 ;

上野钦也 ;

中敏 .

中国专利 :CN1194454A ,1998-09-30

[4]

清洗装置及清洗方法 [P].

史进 .

中国专利 :CN109570177B ,2019-04-05

[5]

清洗装置及清洗方法 [P].

白川征人 .

日本专利 :CN117730282A ,2024-03-19

[6]

清洗装置及清洗方法 [P].

汪亚 ;

蒋阳波 ;

杨俊铖 ;

黄振伟 .

中国专利 :CN111389772A ,2020-07-10

[7]

清洗装置及清洗方法 [P].

唐强 ;

汪志宇 .

中国专利 :CN120511210A ,2025-08-19

[8]

清洗方法及清洗装置 [P].

入江庸介 ;

森田清之 ;

铃木正明 ;

足立明久 ;

桥本雅彦 .

中国专利 :CN1655883A ,2005-08-17

[9]

清洗方法及清洗装置 [P].

渡部秀夫 .

中国专利 :CN101195118A ,2008-06-11

[10]

清洗装置及清洗方法 [P].

田中佑季 ;

饭泉健 ;

梶川敬之 .

中国专利 :CN115605981A ,2023-01-13

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