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晶圆传输机及晶圆扫描映射方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410087693.6
申请日：
2024-01-22
公开(公告)号：
CN117976589A
公开(公告)日：
2024-05-03
发明(设计)人：
李宁宁
申请人：
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
李鑫
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240122 |
| 2024-05-03 | 公开 | 公开 |