晶圆扫描路径的优化方法、系统、设备及晶圆检测方法

被引：0

申请号：

CN202210497777.8

申请日：

2022-05-09

公开(公告)号：

CN114594664B

公开(公告)日：

2022-06-07

发明(设计)人：

张胜森刘荣华

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224

代理人：

张英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-07	公开	公开
2022-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220509
2022-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传输机及晶圆扫描映射方法 [P].

李宁宁 .

中国专利 :CN117976589A ,2024-05-03

[2]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN105575845B ,2016-05-11

[3]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN205376475U ,2016-07-06

[4]

用于晶圆扫描的焦面修正方法及晶圆检测方法 [P].

周侃恒 ;

赵润川 ;

白平 .

中国专利 :CN118507374A ,2024-08-16

[5]

晶圆检测设备的控制方法、晶圆检测方法及晶圆检测设备 [P].

张鹏斌 ;

魏新和 ;

董坤玲 ;

段晓炳 ;

吴彦强 ;

杨亭 ;

张谦 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120685668A ,2025-09-23

[6]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112735959A ,2021-04-30

[7]

晶圆检测结构及晶圆检测设备 [P].

刘桂林 ;

徐焕 ;

雷传 ;

杜振东 ;

吴灿 ;

王坤 ;

侯魁 .

中国专利 :CN223244330U ,2025-08-19

[8]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

郭宏雁 ;

杨轩 ;

胡文龙 ;

王俊夫 ;

马驰 .

中国专利 :CN120895487A ,2025-11-04

[9]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

何跃 .

中国专利 :CN119694919A ,2025-03-25

[10]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

胡俊林 ;

郑隆结 ;

孙会民 .

中国专利 :CN120314331B ,2025-08-15

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