一种氧化铟锡靶材的烧结工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310248397.5

申请日：

2023-03-15

公开(公告)号：

CN116444263B

公开(公告)日：

2024-02-27

发明(设计)人：

高建成张莉兰徐涛汪强钟小华

申请人：

先导薄膜材料（安徽）有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区龙子湖路与通淮南路交口先导薄膜材料有限公司厂房内

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/638 C04B35/64 C23C14/08 C23C14/35

代理机构：

合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160

代理人：

安朋

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

陈杰 ;

曾学云 ;

李庆奎 .

中国专利 :CN108516820B ,2018-09-11

[2]

一种氧化铟锡靶材强度增加的烧结工艺方法 [P].

曾探 ;

王志强 ;

曾墩风 ;

石煜 ;

马建保 .

中国专利 :CN116854485B ,2024-10-11

[3]

一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 [P].

陆映东 ;

武建良 ;

马超宁 ;

黄誓成 .

中国专利 :CN107459345B ,2017-12-12

[4]

氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法 [P].

曾纪术 ;

胡明振 ;

吴伯增 ;

陈锦全 ;

陈进中 ;

熊爱臣 ;

陈良武 ;

张元松 ;

谭翠 .

中国专利 :CN103922703B ,2014-07-16

[5]

氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28

[6]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924A ,2024-08-16

[7]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924B ,2025-06-10

[8]

低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 ;

杨淑敏 ;

刘洋 ;

梁鹏 ;

赵旭 ;

齐超 ;

张雨 ;

仇晨 .

中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22

[9]

一种氧化铟锡靶材的生产方法 [P].

王悦林 .

中国专利 :CN101319307B ,2008-12-10

[10]

氧化铟锡靶材浆料的制备方法 [P].

柴卫平 .

中国专利 :CN102013279B ,2012-02-22

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