一种抛光系统及抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910448429.X

申请日：

2019-05-27

公开(公告)号：

CN110065007B

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

姚俊丁若晨康振亚杜宝瑞郑会龙赵世迁文涛

申请人：

中国科学院工程热物理研究所

申请人地址：

100190 北京市海淀区北四环西路11号

IPC主分类号：

B24C3/04

IPC分类号：

B24C1/08 B24C9/00 B24C11/00 C25F3/16 C25F7/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周天宇

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种抛光系统及抛光方法 [P].

姚俊 ;

丁若晨 ;

康振亚 ;

杜宝瑞 ;

郑会龙 ;

赵世迁 ;

文涛 .

中国专利 :CN110065007A ,2019-07-30

[2]

一种抛光系统 [P].

姚俊 ;

丁若晨 ;

康振亚 ;

杜宝瑞 ;

郑会龙 ;

赵世迁 ;

文涛 .

中国专利 :CN210255761U ,2020-04-07

[3]

抛光方法及抛光系统 [P].

林岳明 .

中国专利 :CN117891138A ,2024-04-16

[4]

抛光方法及抛光系统 [P].

何昆哲 .

中国专利 :CN120901836A ,2025-11-07

[5]

抛光系统及抛光方法 [P].

梁焰 ;

岳兴 ;

李安庭 .

中国专利 :CN112872916A ,2021-06-01

[6]

一种抛光系统及抛光方法 [P].

方宗豹 ;

张恒 ;

霍乐毅 ;

李云周 ;

何钊 ;

陈林森 .

中国专利 :CN111438626A ,2020-07-24

[7]

一种工装、抛光系统及抛光方法 [P].

戴昱侃 ;

朱永耀 ;

张小红 ;

李鹏辉 .

中国专利 :CN113846372A ,2021-12-28

[8]

一种抛光垫和抛光系统 [P].

张历 ;

王财安 ;

顾纬键 .

中国专利 :CN120696916A ,2025-09-26

[9]

一种抛光装置、抛光系统和抛光方法 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

徐海洋 ;

王春龙 .

中国专利 :CN117506707A ,2024-02-06

[10]

抛光系统和抛光方法 [P].

林士琦 ;

吴坤泰 ;

周友华 ;

李志聪 ;

洪敏皓 ;

吴志仁 ;

黄振铭 ;

黃循康 ;

詹金祥 ;

杨智渊 .

中国专利 :CN103846770A ,2014-06-11

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