一种抛光垫和抛光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511099749.0

申请日：

2025-08-07

公开(公告)号：

CN120696916A

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

张历王财安顾纬键

申请人：

衢州博来派得电子材料有限公司

申请人地址：

324022 浙江省衢州市银仓路10号1幢A201室

IPC主分类号：

B24B37/22

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/34

代理机构：

北京知创宏信知识产权代理有限公司 51350

代理人：

任嘉明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	公开	公开
2025-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/22申请日:20250807

共 50 条

[1]

抛光系统的抛光垫 [P].

闵庚勳 ;

林云勳 ;

李大渊 ;

宋在翊 ;

朴寿讃 .

中国专利 :CN103079767A ,2013-05-01

[2]

抛光垫冲洗装置和晶片抛光系统 [P].

李经能 ;

蔡文必 .

中国专利 :CN216681664U ,2022-06-07

[3]

抛光垫及抛光系统 [P].

罗乙杰 ;

黄振伟 ;

段冲 ;

高越 .

中国专利 :CN117733728A ,2024-03-22

[4]

一种抛光垫及晶圆抛光系统 [P].

张佳林 ;

朱政挺 .

中国专利 :CN222589300U ,2025-03-11

[5]

抛光系统和抛光方法 [P].

林士琦 ;

吴坤泰 ;

周友华 ;

李志聪 ;

洪敏皓 ;

吴志仁 ;

黄振铭 ;

黃循康 ;

詹金祥 ;

杨智渊 .

中国专利 :CN103846770A ,2014-06-11

[6]

一种抛光头和抛光系统 [P].

杨怀庆 ;

白强强 ;

王明 .

中国专利 :CN119589544A ,2025-03-11

[7]

抛光系统、抛光垫及相关方法 [P].

S·巴卡姆 ;

K-H·刘 ;

J·A·库尔特拉 .

美国专利 :CN113365780B ,2024-03-08

[8]

抛光系统、抛光垫及相关方法 [P].

S·巴卡姆 ;

K-H·刘 ;

J·A·库尔特拉 .

中国专利 :CN113365780A ,2021-09-07

[9]

抛光垫、抛光系统以及制造该抛光垫的方法 [P].

波格丹·斯韦德克 ;

大卫·J·利斯卡 ;

杰弗里·德鲁·大卫 ;

多米尼克·J·本维努 .

中国专利 :CN100548581C ,2007-04-04

[10]

一种抛光模组、抛光单元、抛光系统和抛光方法 [P].

王春龙 ;

徐海洋 ;

许振杰 ;

赵德文 .

中国专利 :CN117415724A ,2024-01-19

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