用于离子源栅网的固定机构、离子源栅网及离子源设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202321954691.X
申请日
2023-07-21
公开(公告)号
CN220341164U
公开(公告)日
2024-01-12
发明(设计)人
李正磊 卓永生
申请人
昂成精密仪器(深圳)有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区翠景路35号1栋昂纳集团1号厂房702
IPC主分类号
H01J37/08
IPC分类号
H01J37/30 H01J37/305 H01J37/317
代理机构
深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360
代理人
陈琳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
栅网及离子源 [P]. 
刁克明 .
中国专利 :CN206059340U ,2017-03-29
[2]
一种离子源栅网及离子源 [P]. 
唐云俊 ;
王昱翔 .
中国专利 :CN218069771U ,2022-12-16
[3]
一种栅网装置、离子源设备及离子源性能评估方法 [P]. 
张海飞 ;
李正磊 ;
刘家湛 .
中国专利 :CN120977847A ,2025-11-18
[4]
一种离子源栅网可调结构、调节方法及离子源设备 [P]. 
胡少谦 ;
桑康 ;
陈龙保 ;
胡冬冬 ;
闫奎呈 ;
许开东 .
中国专利 :CN120221357A ,2025-06-27
[5]
射频离子源系统及离子源设备 [P]. 
刘伟基 ;
冀鸣 ;
赵刚 ;
易洪波 ;
曾文华 ;
刘运鸿 ;
吴秋生 .
中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26
[6]
离子源的电源装置及离子源设备 [P]. 
冀鸣 ;
刘伟基 ;
赵刚 ;
易洪波 ;
刘运鸿 .
中国专利 :CN213752617U ,2021-07-20
[7]
离子源 [P]. 
甲斐裕章 ;
西村一平 .
中国专利 :CN207338293U ,2018-05-08
[8]
离子源 [P]. 
张进伟 ;
任焱 .
中国专利 :CN206639774U ,2017-11-14
[9]
离子源 [P]. 
朱岭俊 ;
李素华 ;
徐轲 .
中国专利 :CN204558414U ,2015-08-12
[10]
离子源 [P]. 
闻路红 ;
赵鹏 .
中国专利 :CN204991648U ,2016-01-20