一种离子源栅网可调结构、调节方法及离子源设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311807391.3

申请日：

2023-12-25

公开(公告)号：

CN120221357A

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

胡少谦桑康陈龙保胡冬冬闫奎呈许开东

申请人：

江苏鲁汶仪器股份有限公司

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01J37/04

IPC分类号：

H01J37/08 H01J37/32 C23C14/34 C23C14/54

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

丁曼曼

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	公开	公开
2025-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/04申请日:20231225

共 50 条

[1]

用于离子源栅网的固定机构、离子源栅网及离子源设备 [P].

李正磊 ;

卓永生 .

中国专利 :CN220341164U ,2024-01-12

[2]

一种栅网装置、离子源设备及离子源性能评估方法 [P].

张海飞 ;

李正磊 ;

刘家湛 .

中国专利 :CN120977847A ,2025-11-18

[3]

射频离子源系统及离子源设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 ;

刘运鸿 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26

[4]

离子源的电源装置及离子源设备 [P].

冀鸣 ;

刘伟基 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN213752617U ,2021-07-20

[5]

阳极离子源 [P].

苗丁 .

中国专利 :CN307784151S ,2023-01-10

[6]

离子源设备和方法 [P].

J·O·诺尔林 ;

J·-O·贝里斯特伦 .

中国专利 :CN1816243B ,2006-08-09

[7]

一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源 [P].

罗才旺 ;

彭立波 ;

游俊建 .

中国专利 :CN117855014A ,2024-04-09

[8]

一种离子源设备 [P].

陈宇航 ;

龙继东 ;

赵良超 ;

何小中 ;

马超凡 ;

杨振 ;

董攀 ;

蓝朝晖 ;

刘尔祥 ;

龙全红 .

中国专利 :CN208113046U ,2018-11-16

[9]

一种离子源 [P].

杨元才 ;

褚景豫 ;

王慧峰 ;

钱鹏亮 .

中国专利 :CN109473334B ,2024-07-26

[10]

双曲线回转面栅网板离子源 [P].

刘杰 ;

刘康 .

中国专利 :CN206666628U ,2017-11-24

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