一种光学元件面形非接触式检测装置及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410036682.5
申请日
2024-01-10
公开(公告)号
CN117921541A
公开(公告)日
2024-04-26
发明(设计)人
陈林 李杰
申请人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
IPC主分类号
B24B49/04
IPC分类号
G01B11/24
代理机构
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人
邓治平
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
光学元件面形在位检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
陈贤华 ;
王健 ;
陈健 ;
赵智亮 ;
许乔 .
中国专利 :CN205262414U ,2016-05-25
[2]
一种光学元件面形检测方法及装置 [P]. 
田爱玲 ;
苏嘉明 ;
刘丙才 ;
朱学亮 ;
王红军 ;
王思淇 .
中国专利 :CN119245546A ,2025-01-03
[3]
一种光学元件面形在位检测装置 [P]. 
边心田 ;
程菊 ;
左芬 .
中国专利 :CN206862285U ,2018-01-09
[4]
一种光学元件面形检测方法及系统、设备 [P]. 
胡海翔 ;
张学军 ;
田明森 ;
李明茁 .
中国专利 :CN120403490A ,2025-08-01
[5]
一种光学元件面形检测方法及系统、设备 [P]. 
胡海翔 ;
张学军 ;
田明森 ;
李明茁 .
中国专利 :CN120403490B ,2025-08-29
[6]
光学元件面形在位检测装置及其检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
陈贤华 ;
王健 ;
陈健 ;
赵智亮 ;
许乔 .
中国专利 :CN105043296A ,2015-11-11
[7]
非接触式检测装置及检测方法 [P]. 
令龙军 ;
王锐 ;
赖敬文 .
中国专利 :CN112050729A ,2020-12-08
[8]
一种基于激光跟踪仪非接触式测量大口径光学元件面形的方法 [P]. 
杨杰 ;
李杰 ;
陈林 .
中国专利 :CN111023971A ,2020-04-17
[9]
一种叶片非接触式检测装置及方法 [P]. 
张旭 ;
郑泽龙 ;
蔡永凯 ;
浦栋麟 .
中国专利 :CN108458659A ,2018-08-28
[10]
一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法 [P]. 
李潇潇 ;
张志恒 ;
张效宇 ;
曹杰君 ;
曹兆楼 ;
咸冯林 .
中国专利 :CN109974583B ,2024-03-26