共 32 条
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ＳＯＩウェーハの製造方法およびこの方法により製造されたＳＯＩウェーハ[ja]
被引：0
申请号：
JP20070512915
申请日：
2006-04-04
公开(公告)号：
JPWO2006109614A1
公开(公告)日：
2008-11-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
H01L21/304
H01L27/12
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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