学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

基板を接合する装置および方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20200505485
申请日：
2017-09-21
公开(公告)号：
JP2020534669A
公开(公告)日：
2020-11-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[21]
接合部材、接合方法および接合体[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022115952A ,2022-08-09
[22]
基板保持装置および基板処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6067392B2 ,2017-01-25
[23]
基板保持装置および基板研磨装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7117933B2 ,2022-08-15
[24]
基板保持装置、および基板保持装置における摩耗検出方法[ja] [P]. 
SUEMASA SHUICHI .
日本专利 :JP2024172145A ,2024-12-12
[25]
基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6875357B2 ,2021-05-26
[26]
基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025127534A ,2025-09-02
[27]
基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5877005B2 ,2016-03-02
[28]
チャンバを含む流路部位を有する基板、およびそれを用いて液体を移送する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2008126404A1 ,2010-07-22
[29]
試料を加熱または冷却する装置および方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022105551A ,2022-07-14
[30]
試料を加熱または冷却する装置および方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2019516070A ,2019-06-13
12345