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ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20080542131
申请日：
2007-10-30
公开(公告)号：
JPWO2008053879A1
公开(公告)日：
2010-02-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/302
IPC分类号：
H01J27/02
H01J37/08
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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