ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置[ja]

被引:0
申请号
JP20080542131
申请日
2007-10-30
公开(公告)号
JPWO2008053879A1
公开(公告)日
2010-02-25
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/302
IPC分类号
H01J27/02 H01J37/08
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 38 条
[25]
半固体表面から微生物増殖物を採取するデバイス及び装置[ja] [P]. 
TIMOTHY MARK WILES ;
DWIGHT LIVINGSTON ;
JENNIFER SINGELYN ;
WILLIAM ALAN FOX ;
BRIAN REUBEN LANGHOFF ;
VIKRAM PATEL ;
SEAN TUCKER ;
YEH MING-HSIUNG ;
MICHAEL A BRASCH .
日本专利 :JP2022079517A ,2022-05-26
[30]
表面相図の作成方法、表面相図の作成プログラム、および、表面相図の作成システム[ja] [P]. 
URUSHIBARA MAKOTO ;
YAMAGUCHI KENJI ;
TAMURA AKIRA .
日本专利 :JP2025119942A ,2025-08-15