共 50 条
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酸化物薄膜の形成方法および装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20150553507
申请日：
2014-12-11
公开(公告)号：
JPWO2015093389A1
公开(公告)日：
2017-03-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C16/40
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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