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酸化物薄膜形成方法及び酸化物薄膜形成装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20160021143
申请日：
2016-02-05
公开(公告)号：
JP6813824B2
公开(公告)日：
2021-01-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/40
C23C16/458
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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